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发布日期:2021年12月07日
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Swagelok Switzerland – ARBOR Fluidtec AG

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Atomschichtsedimentierungs- (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventile
Atomlagenabscheidungsventile

Swagelok ist ein weltweit führendes technisches Unternehmen und ein Lösungsanbieter für Halbleiter-Chip-Produktionsanwendungen, sowie der Erfinder der ALD-Ventil-Technologie. Unsere ultrahochreinen (UHP) ALD-Ventile bieten Folgendes:

  • Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit
  • Cv Bereich zwischen 0,27 und 1,7
  • Mit Hochtemperatursteuerköpfen voll eintauchbar bis 200°C (392°F)
  • Geeignet für UHP-Anwendungen mit Körper aus Edelstahl Standards 316L VIM-VAR
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißenden und VCR®-Endanschlüsse
  • Optionaler elektronischer oder optischer Steuerkopf-Stellungsmelder

ALD-Ventile einkaufen

UHP-Membranventile der Serien ALD3 und ALD6

Sehen Sie sich unsere ALD3- und ALD6-Ventile anKatalog für ALD3 und ALD6

Membranventile für Atomlagenabscheidung bieten eine besonders hohe Zykluslebensdauer, hohe Betätigungsgeschwindigkeit und Durchflusskoeffizienten bis 0,62, zusammen mit Hochtemperatur-Steuerköpfen, Stellungsmeldern und Magnetventilbetätigung für optimalen Einsatz in Atomlagenabscheidungsanwendungen.

Technische Daten

ArbeitsdruckVakuum bis 10,0 bar (145 psig)
Berstdruck 220 bar (3200 psig)
Steuerdruck3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig)
Temperatur0 bis 200°C (32 bis 392°F)
Durchflusskoeffizient(Cv)0,27 oder 0,62
KörperwerkstoffeEdelstahl 316L VIM-VAR
MembranwerkstoffLegierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Typ (Größe)VCR® Innengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
VCR® Außengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,125 Zoll bis 1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss)

Das ALD20 UHP-Ventil für Anwendungen mit hohem Durchfluss

ALD20-Katalog

DasALD20 UHP-Ventil ist das neueste Ventil der Swagelok-Familie mit ALD-Produkten. Das zum Patent angemeldete Design gestattet die Nutzung schwieriger Stoffe mit niedrigem Dampfdruck. Das ALD20 weist ultrahochreine Faltenbälge auf, die einen saubereren Betrieb und höheren Durchfluss als andere ALD-Ventile liefern.

Außerdem kann das ALD20-Ventil vollkommen thermisch in einen Gasblock eingetaucht und auf Temperaturen zwischen 10°C (50°F) und bis zu 200°C (392°F) erhitzt werden.

Technische Daten

ArbeitsdruckVakuum bis 1,4 bar (20 psig)
Berstdruck>220 bar (3200 psig)
Steuerdruck4,8 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig)
Temperatur10° bis 200°C (50° bis 392°F)
Durchflusskoeffizient (Cv)1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung)
KörperwerkstoffeEdelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22
Faltenbalg-WerkstoffAlloy 22 (5 μin. Ra-Oberflächengüte)
Endanschlüsse
Typ (Größe)VCR® Innengewinde (1/2 Zoll)
Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll)
Rohrstumpfschweißende, 0,50 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) für hohem Durchfluss

Die Grenzen der ALD-Technologie durchbrechen.

Atomlagenabscheidungsventile

Swagelok ist ein weltweit führendes technisches Unternehmen und ein Lösungsanbieter für Halbleiter-Chip-Produktionsanwendungen, sowie der Erfinder der ALD-Ventil-Technologie. Unsere ultrahochreinen (UHP) ALD-Ventile bieten Folgendes:

  • Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit
  • Cv Bereich zwischen 0,27 und 1,7
  • Mit Hochtemperatursteuerköpfen voll eintauchbar bis 200°C (392°F)
  • Geeignet für UHP-Anwendungen mit Körper aus Edelstahl Standards 316L VIM-VAR
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißenden und VCR®-Endanschlüsse
  • Optionaler elektronischer oder optischer Steuerkopf-Stellungsmelder

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UHP-Membranventile der Serien ALD3 und ALD6

Sehen Sie sich unsere ALD3- und ALD6-Ventile anKatalog für ALD3 und ALD6

Membranventile für Atomlagenabscheidung bieten eine besonders hohe Zykluslebensdauer, hohe Betätigungsgeschwindigkeit und Durchflusskoeffizienten bis 0,62, zusammen mit Hochtemperatur-Steuerköpfen, Stellungsmeldern und Magnetventilbetätigung für optimalen Einsatz in Atomlagenabscheidungsanwendungen.

Technische Daten

ArbeitsdruckVakuum bis 10,0 bar (145 psig)
Berstdruck 220 bar (3200 psig)
Steuerdruck3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig)
Temperatur0 bis 200°C (32 bis 392°F)
Durchflusskoeffizient(Cv)0,27 oder 0,62
KörperwerkstoffeEdelstahl 316L VIM-VAR
MembranwerkstoffLegierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Typ (Größe)VCR® Innengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
VCR® Außengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,125 Zoll bis 1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss)

Das ALD20 UHP-Ventil für Anwendungen mit hohem Durchfluss

ALD20-Katalog

DasALD20 UHP-Ventil ist das neueste Ventil der Swagelok-Familie mit ALD-Produkten. Das zum Patent angemeldete Design gestattet die Nutzung schwieriger Stoffe mit niedrigem Dampfdruck. Das ALD20 weist ultrahochreine Faltenbälge auf, die einen saubereren Betrieb und höheren Durchfluss als andere ALD-Ventile liefern.

Außerdem kann das ALD20-Ventil vollkommen thermisch in einen Gasblock eingetaucht und auf Temperaturen zwischen 10°C (50°F) und bis zu 200°C (392°F) erhitzt werden.

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ArbeitsdruckVakuum bis 1,4 bar (20 psig)
Berstdruck>220 bar (3200 psig)
Steuerdruck4,8 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig)
Temperatur10° bis 200°C (50° bis 392°F)
Durchflusskoeffizient (Cv)1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung)
KörperwerkstoffeEdelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22
Faltenbalg-WerkstoffAlloy 22 (5 μin. Ra-Oberflächengüte)
Endanschlüsse
Typ (Größe)VCR® Innengewinde (1/2 Zoll)
Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll)
Rohrstumpfschweißende, 0,50 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) für hohem Durchfluss